近日，西安和其光電科技股份有限公司(以下簡稱“和其光電”)最新研發的多款紅外測溫設備成功交付，標志著我國半導體領域又一關鍵設備實現了國產替代，突破了“卡脖子”難題。

半導體制造需要經歷晶圓生長、外延、刻蝕等多個工序，在每個工序中，溫度的控制和監測對于確保產品質量和一致性至關重要。長期以來，我國半導體領域的高端測溫設備一直被國外廠商壟斷，成為制約芯片產業發展的“卡脖子”難題。尤其近年來，在美國的極力遏制打壓下，國內半導體企業已經遭遇“斷供”，國產替代刻不容緩、迫在眉睫。

“2022年8月，我們瞄準國產替代，啟動了技術攻關，與行業伙伴共渡難關。”和其光電研發總監方笑塵說。

經過研發人員夜以繼日持續攻堅克難，最終，半導體的紅外測溫領域所有技術路線都被打通，測溫精度最高達到±0.15%，各項指標已經達到或超過國外同類產品。在此基礎上，和其光電一鼓作氣相繼推出了十幾款產品，以滿足各類半導體企業的不同需求。

據方笑塵介紹，和其光電目前已經有比色紅外、單色紅外及光導管型三款測溫設備成功交付客戶，另外還有8款樣機正在接受驗證。“隨著這些產品的日漸成熟，我國半導體測溫設備突破封鎖、實現國產替代便指日可待。”

冰凍三尺，非一日之寒，和其光電的技術突破，也非短短數月之功。

和其光電成立于2011年，是在西安高新區“一院一所一校”模式下，由中科院西安光機所孵化的高科技企業。自成立以來，和其光電依托中科院西安光機所50多年的技術積累，以市場需求為導向，在測溫領域持續深耕，曾成功獲得首屆“金燧獎”中國光電儀器品牌榜優秀獎、國家電網科學技術二等獎、河北省科學技術進步二等獎、中國電工技術協會科學技術進步一等獎、中國電力聯合會年度電力科技創新一等獎等一系列科技創新獎項，并逐步成長為全球知名的變壓器繞組光纖溫控系統品牌商之一。

目前，和其光電系列光纖測溫產品應用已遍布國內32個省市和歐美、東南亞、非洲等四十多個國家和地區，廣泛應用于電力系統、軌道交通、鋼鐵冶金、煤炭開采、石油化工、微波醫療、食品安全和科學研究等領域。

“和其光電專家們數十年的技術積累和企業持續多年以市場為導向開展的科技創新，是本次能夠迅速在半導體紅外測溫領域取得突破的重要原因。”方笑塵說：“作為一家國家級專精特新小巨人企業，我們將繼續堅持以創新為根本，為國家科技自立自強貢獻更多力量。”

（中國日報陜西記者站）