據(jù)國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局公告，北京大學(xué)申請(qǐng)一項(xiàng)名為“一種大尺寸高熱導(dǎo)率III族氮化物外延材料的制備方法“，公開(kāi)號(hào)CN117646275A，申請(qǐng)日期為2024年1月。

專(zhuān)利摘要顯示，本發(fā)明公開(kāi)了一種大尺寸高熱導(dǎo)率III族氮化物外延材料的制備方法，利用功能層和支撐層的鍵合襯底，先在功能層正面生長(zhǎng)多晶金剛石，然后去掉支撐層，在功能層背面生長(zhǎng)III族氮化物外延材料，獲得多晶金剛石與III族氮化物材料的異質(zhì)集成結(jié)構(gòu)。III族氮化物、功能層、多晶金剛石三者之間是直接生長(zhǎng)成鍵連接，確保了聲子的傳播，并充分利用多晶金剛石高熱導(dǎo)率的優(yōu)點(diǎn)提高了整個(gè)異質(zhì)集成結(jié)構(gòu)的熱導(dǎo)率；III族氮化物外延材料生長(zhǎng)在復(fù)合襯底之上，不會(huì)受到破壞，保證了其性能；通過(guò)選取不同的鍵合襯底表面，可以控制生長(zhǎng)金屬極性或氮極性的III族氮化物材料，滿(mǎn)足不同領(lǐng)域應(yīng)用需求。本發(fā)明的制備方法對(duì)尺寸沒(méi)有限制，可以實(shí)現(xiàn)大尺寸批量化的生產(chǎn)。