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北京大學申請金剛石基氮化物半導體異質結構制備方法專利,能夠得到高質量且低熱阻的金剛石基氮化物半導體異質結構

日期:2024-07-01 閱讀:244
核心提示:天眼查知識產權信息顯示,北京京運通科技股份有限公司申請一項名為一種熱絲CVD法金剛石爐的專利,公開號CN202410315500.8,申請

天眼查知識產權信息顯示,北京京運通科技股份有限公司申請一項名為“一種熱絲CVD法金剛石爐“的專利,公開號CN202410315500.8,申請日期為2024年3月。

專利摘要顯示,本發明涉及公開了一種熱絲CVD法金剛石爐,該金剛石爐包括鍋爐以及位于鍋爐內的基臺、襯板、熱絲和分水器;基臺的頂面朝向鍋爐的頂部,基臺的內腔包括臨近頂面的冷卻腔,基臺遠離頂面的端部伸出鍋爐且具有與內腔連通的開口;襯板設置于基臺的頂面上,襯板背離頂面的一側為金剛石生長面,熱絲位于襯板與鍋爐的頂部之間;分水器位于基臺的內腔內,分水器臨近開口的一端具有進水口,分水器位于冷卻腔內的端部具有與基臺的頂面相對的多個出水口和多個回水口,分水器的內腔具有連通進水口與多個出水口的進水通道,分水器的外側壁與基臺的內側壁之間具有與回水口連通的回流通道。該熱絲CVD法金剛石爐能夠降低金剛石因溫度不均勻產生的應力。

本文源自:金融界

 

 

 

 

 

 

 

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