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中宜創芯碳化硅粉體項目獲批,年產1000噸!

日期:2024-08-21 閱讀:389
核心提示:近日據平頂山市生態環境局官網消息,平頂山市生態環境局擬對河南中宜創芯發展有限公司(以下簡稱:中宜創芯)年產1000噸電子級高

 近日據平頂山市生態環境局官網消息,平頂山市生態環境局擬對河南中宜創芯發展有限公司(以下簡稱:中宜創芯)年產1000噸電子級高級碳化硅粉體項目(一期)環境影響報告書進行批準。

據悉,項目總投資6億元,本次僅針對一期工程,主要建設年產500噸電子級高純碳化硅粉體生產線(生產區包含混料間、粉料合成間、純化間、原材料庫、成品庫等,辦公區包含會議室、辦公室等)、公用和環保配套設施設備等。

該項目采用改進自蔓延高溫合成法(SHS)制備碳化硅粉體工藝(原料按一定化學計量比通過多向運動混合機將原料Si粉和C粉混合均勻,并裝入石墨坩堝中;然后將石墨坩堝放入原料合成爐,關爐,待真空抽至0.0001Pa以下后,充入氬氣等至所需壓強;接著按一定升溫速率進行升溫至所需溫度進行高溫合成,待一段時間后,降溫停爐。出爐后的碳化硅為塊狀,利用晶體一體機進行破碎、研磨和篩分,破碎、研磨用來消除結塊和晶須,篩分使得粒徑分級,之后進入純化爐進行焙燒,除去未反應的碳和浮灰,冷卻后包裝、標記、入庫),設備均采用相符原料合成爐,所用原料Si粉和C粉純度均為6N以上,在高溫下持續反應,最后得到高純碳化硅粉體。

作為該項目主導方,中宜創芯成立于2023年5月24日,由中國平煤神馬控股集團和平頂山發展投資控股集團共同出資設立。

項目方面,中宜創芯正在分期建設年產2000噸碳化硅半導體粉體生產線,總投資20億元。其中,項目一期總投資6億元,年產能500噸,占地12000平方米,于2023年6月20日開工建設,9月20日項目建成并試生產,9月30日首批產品出爐。

隨后在今年5月,中宜創芯碳化硅半導體粉體500噸生產線成功達產,產品純度最高達到99.99999%,已在國內多家企業和研究機構開展試用和驗證。

技術方面,作為一家碳化硅半導體粉體研發、生產和銷售企業,中宜創芯擁有先進的粉體合成爐和自動化無污染破碎技術,其產品具有單爐產能大、顆粒度大、純度高、阿爾法含量高和游離碳低等優點,更適合8英寸碳化硅厚單晶的生長。

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