9月20日上午，寧波潤平電子材料有限公司控股企業——寧波平恒電子材料有限公司的半導體芯片制造用CMP拋光液項目正式投產。

據悉，該項目主要生產氧化鈰拋光液、金屬鎢拋光液、氧化物拋光液、多晶硅拋光液四大類產品，其中的多晶硅拋光液，從拋光顆粒到最終產品，實現了全鏈路100%國產化，對保障中國半導體材料產業鏈的安全和穩定具有重大意義。

“我們常說的5納米、3納米芯片，背后其實就離不開拋光液。”寧波潤平電子材料有限公司董事長惠宏業指著實驗室內龐大的生產設備，自豪地說道。

在半導體芯片的制造過程中，半導體硅片（以下簡稱晶圓）會歷經刻蝕、離子注入等多重工藝步驟。經這些工藝處理后，晶圓表面會變得凹凸不平，并產生多余的表面物。為了實現晶圓表面的平坦化，就需要借助專用設備對晶圓進行多次拋光處理。這一過程被業界稱為CMP，即化學機械拋光。在此過程中，拋光液作為不可或缺的重要材料，對提升最終芯片的性能起著至關重要的作用。“我們的產品采用了先進的納米顆粒技術，具備高純度、高穩定性等特點，各項拋光性能全面對標國際主流產品。”惠宏業提到。

據了解，CMP拋光液在國際市場上長期被美國和日本的相關企業所壟斷，特別是在2008年以前，我國約90%的拋光液都依賴于進口。“對采購商來說，國產CMP拋光液不僅有更明顯的價格優勢，還意味著更安全的供應條件，能夠實現長期穩定的供應。

”惠宏業說。經過多家客戶技術驗證，潤平電子已于今年7月獲得了首張量產訂單。“預計該項目今年產值能達3000萬，接下去在滿產的情況下，全年能實現3億的產值。”惠宏業對未來充滿信心，“我們始終把創新作為企業發展的‘終極動力’，CMP拋光液項目只是一個新的起點。”

作為寧波陽明工業技術研究院培育的企業，該公司先后獲評國家科技型中小企業、浙江省科技型中小企業等稱號，拋光液項目成功入選寧波市“2022年甬江人才計劃”和余姚市“2021年姚江英才計劃”。目前，該公司研發團隊已吸納多位CMP拋光材料領域的國內外專家，累計申請專利105項，已授權32項，其中發明專利6項、實用新型專利26項，擁有核心自主知識產權。