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華虹半導體申請集成半導體器件及其制備方法專利,提高芯片整體抗EMI能力

日期:2024-12-19 閱讀:237
核心提示:國家知識產權局信息顯示,華虹半導體(無錫)有限公司、上海華虹宏力半導體制造有限公司申請一項名為集成半導體器件及其制備方法

 國家知識產權局信息顯示,華虹半導體(無錫)有限公司、上海華虹宏力半導體制造有限公司申請一項名為“集成半導體器件及其制備方法”的專利,公開號 CN 119133083 A,申請日期為2024年8月。

專利摘要顯示,本申請?zhí)峁┮环N集成半導體器件及其制備方法,其中集成半導體器件的制備方法中,采用DTI(第一深溝槽隔離結構、第二深溝槽隔離結構)和SOI(底層硅襯底、中間氧化層和頂層硅襯底)結合,形成全介質隔離,從而完全隔離SOI上的CMOS器件(本實施例以NMOS器件為例)和LDMOS器件,提高了芯片整體的抗EMI能力,并完全杜絕寄生雙極效應,消除了閂鎖的風險,從而提升了電路工作可靠性。

 

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