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《異質外延氮化鎵外延層厚度測試 白光干涉法》CSA團體標準第一次討論會召開

日期:2025-01-08 閱讀:246
核心提示:2025年1月8日,中關村半導體照明工程研發及產業聯盟(CSA)標準化委員會(CSAS)秘書處組織召開《異質外延氮化鎵外延層厚度測試

 2025年1月8日,中關村半導體照明工程研發及產業聯盟(CSA)標準化委員會(CSAS)秘書處組織召開《異質外延氮化鎵外延層厚度測試 白光干涉法》標準起草小組第一次討論會,北京大學東莞光電研究院、東莞質檢、中鎵半導體、普雷賽斯、中科院半導體所、京東方華燦光電、民爆光電、第三代半導體產業技術戰略聯盟及CSAS技術咨詢委員等共計13位專家代表參會。

 

線上截圖|TCSA 102團體標準起草組第一次討論會

《異質外延氮化鎵外延層厚度測試 白光干涉法》由北京大學東莞光電研究院聯合南京大學、中國科學院蘇州納米技術與納米仿生研究所、中國科學院半導體研究所、廣東省東莞市質量監督檢測中心四家單位提案,經過CSAS管理委員會投票獲得批準,2024年11月正式立項,標準編號為:T/CSA 102。

針對異質外延的氮化鎵膜層厚度的測試方法已被業界廣泛使用,但是相應測試方法的缺失在一定程度上降低了上下游溝通效率,本標準的制定旨在方便各方進行對標,提高溝通協調效率。 

T/CSA 102起草組第一次討論會,北大東莞光電研究院劉強博士介紹了標準項目背景、草案內容,與會專家從標準的適用性、可操作性、規范性、立項投票管理委員意見等方面展開了充分討論。會后,起草組將根據會上討論結果進一步完善標準文本,并開展試驗驗證以支撐標準的制定。

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