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突破!國產SiC外延設備首次大規模發貨!

日期:2025-02-11 閱讀:424
核心提示:48所成功實現第三代半導體SiC外延設備的首次大規模批量發貨,共計30臺套。

 2月9日,中國電科官方宣布,其所屬的48所成功實現第三代半導體SiC外延設備的首次大規模批量發貨,共計30臺套。這一突破標志著中國在第三代半導體設備領域取得重要進展,也為全球半導體產業注入了新的活力。

SiC(碳化硅)外延設備是第三代半導體器件制造的核心關鍵設備之一。與傳統的硅基半導體相比,SiC材料具有耐高溫、耐高壓和高導電性等優勢,廣泛應用于新能源汽車、5G通信、航空航天等領域。

然而,由于技術門檻高、設備復雜,SiC外延設備的研制和產業化一直是全球半導體領域的難題。中國電科48所歷時多年,攻克了多項關鍵技術,成功實現了SiC外延設備的自主研發和量產。

此次發貨的30臺套設備不僅在國內實現了首次大規模批量交付,而且已累計出貨百余臺套,并在客戶現場穩定運行。這一成績的取得,標志著中國在第三代半導體設備領域已具備較強的國際競爭力。

此外,中國電科48所還注重設備的智能化和自動化設計,引入了先進的AI算法,實現了設備運行狀態的實時監測和優化控制。這些創新不僅提升了設備的生產效率,還大幅降低了設備的維護成本,為用戶提供了更高的性價比。

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