在全球半導體產業加速向第三代半導體發展的關鍵時期,晶升股份作為國內領先的半導體專用設備供應商,始終專注于晶體生長設備的研發與創新。公司以大尺寸半導體級單晶硅爐、碳化硅單晶爐為核心,持續向襯底加工設備及外延生長設備延伸,構建了覆蓋碳化硅材料制備關鍵環節的裝備解決方案,為行業提供高精度、高穩定性的半導體設備。
從單點突破到全鏈覆蓋 技術創新的跨越式發展
晶升股份的碳化硅晶體生長設備為核心業務之一,公司敏銳洞察到客戶對襯底材料“提質降本”的核心訴求,積極推動技術鏈延伸,構建了從碳化硅粉料合成、晶體生長、晶錠加工到外延生長的全流程設備供應能力,為客戶提供一站式、高效率、高可靠性的裝備支持,助力碳化硅產業鏈國產化進程。
粉料合成設備
開發高純度、低缺陷的碳化硅粉料制備技術,從源頭保障材料質量。適用于高品質碳化硅合成;最大裝料量達100KG,顯著提升合成效率。
晶體生長設備
優化高溫長晶爐的溫場控制與生長速率,提升晶體良率和尺寸(覆蓋6英寸至12英寸)。
晶錠加工設備
創新切割、研磨、拋光工藝,解決碳化硅硬度高、加工難度大的痛點。
外延生長設備
實現均勻性高、缺陷率低的外延生長,滿足功率器件與射頻器件的嚴苛要求。
(來源:晶升股份)