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極智報告|中國科學院半導體研究所梁萌:二位緩沖層氮化物異質外延

視頻2025-01-10 11:58
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中國科學院半導體研究所梁萌分享了“二位緩沖層氮化物異質外延”研究報告;他介紹說,石墨烯緩沖層氮化物異質外延,初步實現了石墨烯界面氮化物成核,石墨烯邊界與Bridge site,將優先成核位置。我們在石墨烯上來進行一個類似納米柱上的生長,做了一些研究,通過調整晶核生長得到納米柱的結構,在圖形化的襯底上也長出來一些趨向比較一致的石墨烯的納米柱,但是這根趨向一致性主要是硅的襯底,因為石墨烯是單純的材料,石墨烯生長會受到襯底的影響,所以硅是單層多層,單層的話趨向是非常一致的,層數變多會有一定的紊亂,加氮受到襯底的
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