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【視頻】西安交通大學(xué)副教授李強(qiáng):六方氮化硼薄膜的磁控濺射制備及光電特性

視頻IFWS2025-01-10 11:58
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西安交通大學(xué)副教授李強(qiáng)做了題為射頻濺射技術(shù)制備h-BN薄膜的制作與應(yīng)用的主題報(bào)告,分享了濺射制備的hBN膜,包括工藝條件的選擇,hBN的性質(zhì),以及hBN膜的應(yīng)用,包括電阻開(kāi)關(guān)行為等內(nèi)容。 報(bào)告指出,所制備的hBN膜可以在大面積上獲得良好的光滑度。由BN和BAlN薄膜組成的DBR可以在UVA波段實(shí)現(xiàn)高反射。首先在Ag / hBN / Al結(jié)構(gòu)中觀察到通過(guò)濺射制備的hBN膜的RS行為。摻鋁氮化硼薄膜的RS窗口明顯增加。
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