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【視頻報告】鄭州大學教授劉玉懷:通過MOVPE在AlN /藍寶石模板上外延生長h-BN薄膜
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IFWS
2025-03-31 14:04
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鄭州大學教授劉玉懷做了題為氮化鋁/藍寶石模板上六方氮化硼薄膜的有機金屬氣相外延研究的報告,介紹了多層h-BN膜的表面和結晶度、微觀結構和鍵合結構。h-BN在AlN上的生長模型等研究內容。研究成功證明了通過脈沖模式MOVPE在AlN模板上直接生長單晶多層h-BN,在AlN表面上形成連續和聚結的多層h-BN,提出了初始帽形核的生長模型,然后在AlN上進行h-BN的二維橫向生長。
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