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大連理工大學(xué)張赫之： 兩步法在藍寶石襯底上生長高質(zhì)量β-Ga2O3厚膜的研究

視頻MOCVD20222025-03-12 21:07
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兩步法在藍寶石襯底上生長高質(zhì)量-Ga2O3厚膜的研究張赫之，張嵩，董增印，張文輝，程麗媛，梁紅偉*大連理工大學(xué)中國電子科技集團公司第四十六研究所
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