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中電科13所高楠：MOCVD生長(zhǎng)高質(zhì)量6英寸SiC上GaN HEMT材料

視頻MOCVD20222025-03-29 20:11

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MOCVD生長(zhǎng)高質(zhì)量6英寸SiC上GaN HEMT材料高楠，房玉龍*，尹甲運(yùn)，張志榮，王波，李佳，蘆偉立，陳宏泰，牛晨亮中國(guó)電子科技集團(tuán)公司第十三研究所

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