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用于藍綠光Mini/Micro-LED生產的MOCVD新型裝備Blue/Green Mini and Micro-LEDs Grown on Large Size Substrates for Advanced Display Applications陳耀中微公司MOCVD工藝總監Yao CHENDirector of MOCVD Process Technology，Advanced Micro-Fabrication Equipment Inc. China

為了使基于AlGaN材料的深紫外LED能夠更廣泛地應用于固化、水和空氣的凈化及醫療消毒等各方面，必須要大幅地降低其成本。提高深紫