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面向SiC功率器件的裝備與工藝解決方案NAURA Solutions for SiC Power Devices張軼銘北京北方華創(chuàng)微電子裝備有限公司Zhang YimingBeijing NAURA Microelectronics Equipment Co.,Ltd

等離子刻蝕技術(shù)在第三代化合物半導(dǎo)體領(lǐng)域的應(yīng)用Application of Plasma Etching Technology in the Third-generation Compound Semiconductor Field謝秋實(shí)北京北方華創(chuàng)微電子裝備有限公司 第一刻蝕事業(yè)部副總經(jīng)理XIE QiushiDeputy General Manager of NAURA Technology Group Co., Ltd.

化合物半導(dǎo)體工藝設(shè)備解決方案 Equipment and Processes Solutions in Compound Semiconductor王顯剛北京北方華創(chuàng)微電子裝備有限公司LED及化合物半導(dǎo)體行業(yè)發(fā)展部總經(jīng)理WANGXiangangGeneral Manager ofLED and Compound Semiconductor Developmentdepartment, Beijing NAURA Microelectronics Equipment Co.,ltd.

北京北方華創(chuàng)微電子裝備有限公司產(chǎn)品總監(jiān)董博宇帶來了《磁控濺射制備的ITO薄膜在LED領(lǐng)域中的開發(fā)及應(yīng)用》主題報(bào)告。

北方華創(chuàng)全面展示為集成電路、先進(jìn)封裝、半導(dǎo)體照明、功率半導(dǎo)體、微機(jī)電系統(tǒng)、化合物半導(dǎo)體、平板顯示、新能源光伏等尖端領(lǐng)域量身定做的ETCH、PVD、CVD、Furnace、Wet Clean、MFC等高端半導(dǎo)體工藝裝備及核心零部件，助力芯片制造商實(shí)現(xiàn)芯夢(mèng)想，引領(lǐng)科技走進(jìn)芯生活。

北京北方華創(chuàng)微電子裝備有限公司第一刻蝕BU副總經(jīng)理劉利堅(jiān)介紹了LED工業(yè)中的干法刻蝕工藝技術(shù)和關(guān)鍵設(shè)備。劉利堅(jiān)長(zhǎng)期以來從事高端微電子裝備設(shè)計(jì)開發(fā)工作，對(duì)于等離子體刻蝕和PECVD設(shè)備的硬件設(shè)計(jì)和工藝應(yīng)用有豐富經(jīng)驗(yàn)。劉利堅(jiān)介紹了等離子刻蝕的一些技術(shù)問題，并具......