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極智報告|北方華創第一刻蝕BU副總經理劉利堅：LED工業中的干法刻蝕工藝技術和關鍵設備

視頻2025-03-20 16:04
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北京北方華創微電子裝備有限公司第一刻蝕BU副總經理劉利堅介紹了LED工業中的干法刻蝕工藝技術和關鍵設備。劉利堅長期以來從事高端微電子裝備設計開發工作，對于等離子體刻蝕和PECVD設備的硬件設計和工藝應用有豐富經驗。劉利堅介紹了等離子刻蝕的一些技術問題，并具......
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