3月29日消息，據(jù)中欣晶圓發(fā)布，F(xiàn)errotec（中國(guó)）旗下安徽富樂德長(zhǎng)江半導(dǎo)體材料股份有限公司投資建設(shè)年產(chǎn) 240 萬枚半導(dǎo)體晶圓再生項(xiàng)目，項(xiàng)目計(jì)劃總投資 10 億元，占地 75 畝，新建廠房 56774.38 平方米。

 

據(jù)悉，該項(xiàng)目購(gòu)置國(guó)內(nèi)外先進(jìn)設(shè)備數(shù)百臺(tái)套（關(guān)鍵工序采用進(jìn)口設(shè)備及專用設(shè)備），建設(shè)周期 15 個(gè)月，項(xiàng)目建成后將形成年產(chǎn) 240 萬枚 300mm 半導(dǎo)體晶圓精密再生的生產(chǎn)線，可達(dá)世界先進(jìn)水平。

 

官方介紹，安徽富樂德長(zhǎng)江半導(dǎo)體材料股份有限公司由日本 FerroTec 株式會(huì)社（日本磁性流體技術(shù)控股有限公司）在中國(guó)的全資子公司上海申和熱磁電子有限公司于 2019 年在銅陵發(fā)起創(chuàng)立。日本 FerroTec 株式會(huì)社（日本磁性流體技術(shù)控股有限公司）于 1992 年正式進(jìn)軍中國(guó)市場(chǎng)。FerroTec（中國(guó)）現(xiàn)已成長(zhǎng)為集產(chǎn)品研發(fā)、制造、銷售于一體的多元化企業(yè)集團(tuán)。旗下管理的 20 余家公司與制造基地遍布中國(guó)各地，為國(guó)內(nèi)外客戶提供具有世界先進(jìn)水平的材料、器件、裝備和系統(tǒng)解決方案。

 

項(xiàng)目具有國(guó)內(nèi)配備最完善的再生晶圓生產(chǎn)線，也是國(guó)內(nèi)首家專業(yè)從事 300mm 大尺寸硅片晶圓再生的專業(yè)廠商，填補(bǔ)國(guó)內(nèi)該領(lǐng)域空白。本項(xiàng)目的建設(shè)，將促使國(guó)內(nèi)晶圓廠擺脫長(zhǎng)期主要依賴進(jìn)口的窘境，使其在國(guó)內(nèi)即可實(shí)現(xiàn)高水平的大尺寸晶圓再生。

 

采用國(guó)際一流的 300mm 晶圓用全自動(dòng)精密 CMP 研磨機(jī)，研磨加工實(shí)現(xiàn)全程自動(dòng)化，厚度損失少；設(shè)備內(nèi)部利用 HEPA(High Efficiency Particulate Air)過濾裝置，保持高潔凈度；另外量測(cè)設(shè)備采用美國(guó) KLA-Tencor SP5 顆粒檢測(cè)儀 , 具有 DUV 靈敏度和高吞吐量的無圖案晶圓表面檢測(cè)系統(tǒng)，加工與量測(cè)設(shè)備均處于國(guó)際行業(yè)領(lǐng)先水平。

 

項(xiàng)目建設(shè)過程中，依托 FerroTec（中國(guó)）成熟的半導(dǎo)體晶圓技術(shù)人才團(tuán)隊(duì)為基礎(chǔ)，外籍專家團(tuán)隊(duì)直接參與設(shè)備采購(gòu)、安裝與調(diào)試，國(guó)內(nèi)外知名廠商參與設(shè)備搬運(yùn)與二次配工程，每一環(huán)節(jié)均有高品質(zhì)掌控。