日本半導體制造裝置協會（SEAJ）17日公布初步統計顯示，2021年5月份日本制半導體（芯片）設備銷售額較去年同月暴增48.6%至3,054.05億日元，連續第5個月呈現增長，創46個月來最大增幅。

同時，月銷售額史上首度突破3,000億日元大關、續創有數據可供比較的2005年以來歷史空前新高紀錄。2021年1-5月期間日本制芯片設備累計銷售額較去年同期大增25.5%至1兆1,964.55億日元。

另據SEAJ 14日預測報告，因預計晶圓代工廠將維持高水準的投資，加上受益于存儲器投資需求，因此預估2021年度（2021年4月-2022年3月）日本制芯片設備銷售額將年增7.3%至2萬億5,000億日元、將創下歷史新高紀錄。

此外，預估2022年度將年增5.2%至2萬億6,300億日元。2020年度-2022年度期間的年均復合成長率（CAGR）預估為8.3%。

今年4月，日刊工業新聞曾發布報道稱，因5G、IoT普及，半導體廠商投資意愿旺盛，也帶動日本各家半導體制造設備商接單強勁，Screen Holdings社長兼CEO廣江敏朗表示，“2021年度訂單額有望更優于2020年度。” 報道還指出，晶圓切割機大廠DISCO旗下吳工廠、桑（火田）工廠、茅野工廠目前產能全開。DISCO表示，配合旺季所采取的增員態勢將延長至夏天前（原先計劃是從年初到春天）。