日前，由至純科技投資10億元建設的晶圓再生基地（一期）項目（至純科技合肥至微項目）在合肥市新站高新區正式量產。報道指出，該項目是國內首個立項又最先量產的12英寸晶圓再生工廠。

 

圖片來源：合肥新聞聯播視頻截圖

 

報道顯示，合肥至微半導體有限公司，是至純科技旗下半導體晶圓再生和部件再生項目的載體，為集成電路企業12英寸晶圓提供晶圓再生及零部件再生服務。根據資料，至純科技致力于半導體設備、半導體工藝系統以及相關專業服務。

 

合肥至微半導體鳥瞰，圖片來源：合肥新站區

 

根據合肥新站區消息，該項目投資約10億元，包括晶圓再生和半導體部件再生。其中，晶圓再生項目是服務于中國半導體高階市場的首條投產的12英寸晶圓再生產線，不僅填補了產業鏈的空白，也為合肥打造“中國IC之都”提供了強勁支撐。

 

據悉，晶圓再生指的是通過去除損耗控擋片表面的雜質和缺陷，使處理后的晶圓達到新片的標準，實現其循環再利用，進而為企業節約大量成本。

 

合肥新站區消息稱，至微項目以14納米晶圓廠的再生晶圓需求為設計基礎，是服務于中國半導體高階市場的首條投產的12英寸晶圓再生產線。項目全面達產后，可形成每年168萬片晶圓再生及120萬件零部件清洗的能力，滿產后年產值至少可超過6億元。