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【CASICON 2021】北京大學楊學林:Si襯底上GaN基電子材料外延生長技術研究進展

日期:2021-09-16 來源:半導體產業網閱讀:324
核心提示:報告提出采用Ga空位工程,在Si(111)襯底上實現高質量的GaN厚膜。研究了C雜質與位錯相互作用,獲得高遷移率GaN薄膜材料。揭示了AlN/Si界面寄生電導的產生機理并提出抑制方法。
9月13-14日,“2021中國(南京)功率與射頻半導體技術市場應用峰會(CASICON 2021)”在南京召開。本屆峰會由半導體產業網、第三代半導體產業主辦,并得到了南京大學、第三代半導體產業技術創新戰略聯盟的指導。
 楊學林
會上,北京大學物理學院高級工程師楊學林帶來了“Si襯底上GaN基電子材料外延生長技術研究進展”的主題視頻報告,報告提出采用Ga空位工程,在Si(111)襯底上實現高質量的GaN厚膜。研究了C雜質與位錯相互作用,獲得高遷移率GaN薄膜材料。揭示了AlN/Si界面寄生電導的產生機理并提出抑制方法。
 
 
嘉賓簡介
楊學林,近年來在Si襯底上GaN基材料的MOCVD外延生長、C雜質的摻雜調控、缺陷影響電子器件可靠性的機理研究等方面取得了多項進展。在知名期刊上共發表SCI論文70多篇,申請/授權國家發明專利10多件。
 
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