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【CASICON 2021】南京大學徐尉宗:面向高可靠性、高能效應用的GaN HEMT增強型器件技術

日期:2021-09-18 來源:半導體產業網閱讀:640
核心提示:報告從p-GaN帽層增強型器件柵壓擺幅受限的物理機制分析出發,結合新型柵極結構方案設計與實驗驗證,包括反向pn結帽層結構、極化摻雜p型帽層結構等,系統討論柵極設計對器件可靠性及動態損耗的影響規律,總結出潛在的面向高可靠性、高能效應用的GaN HEMT增強型器件技術。
電能已逐漸成為21世紀最重要的能源載體,電能形式的轉換無所不在,核心是功率電子器件.功率電子器件發展需求是高功率密度、高能效、高可靠性。
 
9月13-14日,“2021中國(南京)功率與射頻半導體技術市場應用峰會(CASICON 2021)”在南京召開。本屆峰會由半導體產業網、第三代半導體產業主辦,并得到了南京大學、第三代半導體產業技術創新戰略聯盟的指導。
徐尉宗
會上,南京大學副研究員徐尉宗帶來了“面向高可靠性、高能效應用的GaN HEMT增強型器件技術”的主題報告,報告從p-GaN帽層增強型器件柵壓擺幅受限的物理機制分析出發,結合新型柵極結構方案設計與實驗驗證,包括pn結帽層結構、極化摻雜p型帽層結構等,系統討論柵極設計對器件可靠性及動態損耗的影響規律,總結出潛在的面向高可靠性、高能效應用的GaN HEMT增強型器件技術。
 
同時,報告系統分析了無體二極管的器件結構對GaN HEMT器件反向續流以及抗瞬態能量沖擊能力的影響,并結合所在團隊在GaN功率二極管方面的研究成果,總結介紹了具有高可靠、高能效優勢的AlGaN/GaN基功率電子集成方案。
 
報告指出,有限的正柵壓擺幅是限制p型帽層結構增強型GaN HEMT器件可靠性的重要因素;采用pn結帽層結構、以及基于漸變In組分InGaN材料實現的p型極化摻雜帽層結構可有效抑制器件在正向柵壓下的柵極漏電流,并提升柵極正向擊穿電壓。高柵極耐壓一方面可以提高器件的柵極可靠性,特別是面對高dv/dt開關條件下的柵壓振蕩或過沖;同時,也兼容更成熟、成本也更低的10-12V柵極驅動方案,可實現器件更高柵壓的工作,不僅可以增加器件的工作電流,還可以獲得更快的器件開啟過程,實現器件動態開關損耗的降低。
 
另一方面,與功率MOSFET通過體二極管實現器件反向續流以及對瞬態能量的雪崩泄放不同,GaN HEMT器件中由于沒有體二極管,雖然可以通過第三象限工作進行反向續流,但相應開啟電壓偏高,因此能耗較高;同時,AlGaN/GaN異質結器件并不具備雪崩擊穿泄放能力,其在瞬態能量沖擊下主要通過LC振蕩實現能量耗散,但相應的振蕩電流和非鉗位電壓會帶來新的器件可靠性問題。針對上述關鍵問題,研究團隊通過混合陽極結構的優化設計,實現了具有低開啟電壓和瞬態能量沖擊下阻性泄放能力的AlGaN/GaN肖特基勢壘二極管器件,通過與GaN E-HEMT源漏端的反向并聯,可以在降低開關管反向導通損耗的同時,提高器件抗瞬態能量沖擊的能力,有利于實現更可靠的AlGaN/GaN基功率器件及集成應用。
 
嘉賓簡介
 
徐尉宗,博士,從事寬禁帶半導體材料與器件研究,主要研究方向:GaN基功率電子器件、寬禁帶半導體基光電子器件。在國內外重要學術期刊上發表論文40余篇,其中以第一作者/通訊作者在IEEE EDL/TPE, Nano Letters等國際知名期刊上發表學術論文19篇,主持國家自然科學基金青年項目及省部級項目4項。
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