自2月14日宣布獲得29臺Ultra C wb槽式濕法清洗設備采購訂單后，近日，盛美半導體設備（上海）股份有限公司（以下簡稱“盛美上海”）再次宣布，接到得了來自中國集成電路制造廠及先進封裝廠的21臺電鍍設備的批量采購訂單。
據披露，盛美上海此次收獲的采購訂單包括13臺Ultra ECP map前道銅互連電鍍設備及8臺Ultra ECP ap后道先進封裝電鍍設備，其中10臺設備訂單為一家中國頂級集成電路制造廠商的追加訂單。據悉，這份訂單也是該公司ECP map電鍍系統的第一筆批量采購訂單。
盛美上海表示，經客戶認證，應用于65nm~28nm工藝的Ultra ECP map前道銅互連電鍍設備性能已滿足甚至超過其要求，因此客戶為其生產線訂購了大量該設備。資料顯示，盛美上海主要從事對先進集成電路制造與先進晶圓級封裝制造行業至關重要的單片晶圓及槽式濕法清洗設備、電鍍設備、無應力拋光設備和熱處理設備的研發、生產和銷售。
