此外，該設備采用的模塊化設計，可支持不同脈寬（納秒、皮秒、飛秒）激光器。自主研發(fā)的光學系統(tǒng)，可實現(xiàn)光斑寬度及長度連續(xù)可調(diào)，配合超高精度運動控制平臺等技術(shù)，解決了激光隱切設備對表面材質(zhì)、厚度、晶向、電阻率的限制，實現(xiàn)了工藝的全兼容，對有效控制產(chǎn)品破損率、提高芯片良率有著極大幫助。