近日，晶瑞電材發布了2021年年報，年報披露，晶瑞電材2021年實現營業總收入183,208.76萬元，較上年同期增長79.21%。其中晶瑞電材光刻膠業務近年持續大幅增長，光刻膠及配套材料產品共計實現銷售27,412.34萬元，同比增長53.04%，創歷史新高。并且晶瑞電材表示，公司KrF光刻膠計劃今年形成批量供貨。

 

KrF光刻膠計劃2022年形成批量供貨

 

公開資料顯示，晶瑞電材是一家微電子材料的平臺型高新技術企業，圍繞泛半導體材料和新能源材料兩個方向，主導產品包括光刻膠及配套材料、超凈高純化學品、鋰電池材料和基礎化工材料等。

 

晶瑞電材表示，光刻膠產品由公司的子公司蘇州瑞紅生產，產品主要應用于半導體及平板顯示領域。據悉，蘇州瑞紅1993年開始光刻膠生產，承擔并完成了國家02專項“i線光刻膠產品開發及產業化”項目。

 

近日，晶瑞電材在接受機構調研時表示，公司子公司蘇州瑞紅的光刻膠品類齊全，經過三十年積累，擁有負型光刻膠系列、寬譜正膠系列、g線系列、i線光刻膠系列、KrF光刻膠系列等數十個型號產品，ArF光刻膠的研發工作有序開展中。

 

目前，晶瑞電材i線光刻膠已向國內中芯國際、合肥長鑫等知名大尺寸半導體廠商供貨。其中KrF（248nm深紫外）光刻膠產品分辨率達到了0.25～0.13?m的技術要求，已通過部分重要客戶測試，KrF光刻膠量產化生產線正在積極建設中，計劃2022年形成批量供貨。

 

自2020年啟動集成電路制造用高端光刻膠研發項目以來，晶瑞電材不斷完善半導體設備。在原有3臺光刻機的基礎上，晶瑞電材于2020年下半年購買了ASML1900 Gi型光刻機及配套設備，于2021年下半年購入了尼康KrF S207光刻機及配套設備，目前該公司擁有成系列的光刻機五臺。

 

加速光刻膠產業鏈布局

 

除了主營業務光刻膠產品及配套材料銷售大增外，晶瑞電材近年來加速光刻膠產業鏈布局，據年報顯示，晶瑞電材在雙氧水、半導體級高純硫酸、鋰電材料等方面，銷售呈上升趨勢，產能也不斷擴張。

 

年報顯示，在雙氧水方面，2021年度晶瑞電材雙氧水實現銷售13,930.94萬元，同比增長近 85%，目前該公司半導體級雙氧水已成功實現在中芯國際、長江存儲、華虹宏力、合肥長鑫、武漢新芯等芯片制造龍頭企業的測試、跨線及產銷量爬坡，并成為部分頭部芯片企業的第一大供應商。

 

對于高純硫酸項目進展，晶瑞電材稱，2021年度公司一期3萬噸半導體級高純硫酸產線順利通車，經試生產調試，品質已達全球同行業第一梯隊水平，產品技術指標可以履蓋目前全部先進集成電路技術節點的要求，標志著公司已建成國內規模最大的半導體級高純硫酸基地。

 

4月17日，晶瑞電材宣布，近期晶瑞電材半導體高純電子化學品G5等級高純硫酸面向12英寸芯片廠批量出貨。同時半導體級高純硫酸二期6萬噸項目正在積極建設中，預計2023年上半年建成，未來高純硫酸有望成為公司新的利潤增長點。