用于半導體生產的主要設備供應商，目前均為國際廠商，因此中國未來幾年巨額的半導體投資，實際上面臨著被設備卡脖子的危機。半導體檢測貫穿于產品生產制造流程始終，通過分析檢測數據確保產品工藝參數符合設計需求，并用以確定問題來源，及時采取修正措施，從而達到減少缺陷、提升產線良率的目的，良率的提升直接影響廠商的生產成本和訂單獲取能力。國際AOI廠商，沒有很強的缺陷分類能力，因此對于新投資的半導體廠商改善工藝和品質的幫助不大。透過AOI收集的圖片，新產品的良率，產量甚至廠商的能力和瓶頸有機會被推算出來，這對半導體廠商是非常不利的。因此發展國產AOI檢測設備，是半導體投資能夠取得成功關鍵的一環。

 2023年5月5-7日，“2023碳化硅關鍵裝備、工藝及其他新型半導體技術發展論壇”在長沙召開。論壇在第三代半導體產業技術創新戰略聯盟的指導下，由極智半導體產業網與中國電子科技集團第四十八研究所等單位聯合組織。論壇圍繞“碳化硅襯底、外延及器件相關裝備產業創新發展”、“關鍵零部件及制造工藝創新突破”、“產業鏈上下游協同創新”、“氮化鎵與氧化鎵等其他新型半導體”，邀請產業鏈上下游的企業及高校科研院所代表深入研討，攜手促進國內碳化硅及其他半導體產業的發展。

期間，在“碳化硅關鍵裝備、工藝及配套材料技術”分論壇上，蘇州高視半導體技術有限公司副總經理鄒偉金分享了“SIC晶圓全制程質量控制解決方案”主題報告。

報告詳細介紹了，高視半導體推出的針對SIC制程晶圓質量控制系統級解決方案（AOI-ADC-GOINFO），AOI能快速高靈敏的幫助制程發現缺陷，ADC根據AOI提供的缺陷進行精確分類，GOINFO根據分類結果及工藝數據，進行大數據分析，為SIC晶圓制程提供數據分析及工藝指導，從而提升產品良率。

鄒偉金，光學工程碩士。2017年加入高視科技（蘇州）股份有限公司，現任蘇州高視半導體技術有限公司副總經理，主導半導體晶圓檢測系統的設計及研發工作。13年光學檢測系統從業經驗，主導開發的檢測系統批量應用在LCD、OLED、LED等泛半導體以及化合物半導體等領域，在工業光學檢測領域申請相關專利45項，授權30項。

論壇現場