半導體產業網消息，近期，特殊化學品公司朗盛研發出一種新型混床樹脂，用于半導體生產中的超純水。與已有的Lewatit UltraPure 1296 MD混床樹脂相比，新型UltraPure 1296 MD PLUS混床樹脂的鐵、鋅和鈉等金屬含量更低。該產品作為半導體生產中的終端拋光過濾器，其早期安裝結果已接近目前的分析檢測極限。

（圖片來源：朗盛提供）

朗盛將在UltraPure Micro會議上向專業觀眾展示其新型離子交換樹脂。該會議于2023年10月10日至12日在美國得克薩斯州奧斯汀舉行。朗盛液體凈化技術業務部技術營銷經理Hans-Juergen Wedemeyer表示："在德國生產的Lewatit UltraPure 1296 MD PLUS離子交換樹脂對國際上蓬勃發展的半導體行業而言，是實現低成本、可持續和無故障生產的重要組成部分。

半導體和顯示器的生產需要進行復雜的水處理，以確保所用的水達到要求的純度。因此，最新一代的晶片和微芯片對所使用的離子交換樹脂系統的質量要求也相應更高。此外，新的分析系統能夠分析低 ppt（萬億分之一）范圍內的離子。對于某些類型的離子，它們可以達到ppq（千萬億分之一）范圍。要達到現代工業所需的半導體性能，可能需要多達 200 個處理步驟。為此所需的超純水是通過復雜的多級工藝提供的。操作過程中最重要的步驟包括使用標準離子交換樹脂進行常規一級脫鹽、反滲透、脫氣、超濾和過氧化氫去除，而最后一個階段則是使用超純混床樹脂進行終端拋光。新型 Lewatit UltraPure 1296 MD PLUS 離子交換樹脂就是為這最后一步專門研發的，它對整個工藝的成功至關重要。

這樣處理后的超純水可用于微芯片生產中的蝕刻和清洗過程。Wedemeyer 說：“陰離子和陽離子交換樹脂的總容量大，再生能力強，因此在去除硼、二氧化硅以及金屬離子方面也具有出色的運行能力。”Wedemeyer 補充說：“單分散成分的微珠尺寸設計可避免陰陽離子交換樹脂意外分離。由于 Lewatit UltraPure 1296 MD PLUS離子交換樹脂采用了特殊的生產工藝，微粒和 TOC 的釋放量極低。”