天眼查顯示，杭州士蘭微電子股份有限公司近日取得一項名為“MEMS微鏡及其制備方法”的專利，授權公告號為CN115268060B，授權公告日為2024年8月16日，申請日為2022年7月27日。

本發(fā)明提供了一種MEMS微鏡及其制備方法，在內框架的頂面和底面分別設置第一線圈和第二線圈，所述第一線圈和所述第二線圈用于施加同向的電流，使得所述第一線圈和所述第二線圈產生的洛倫茲力可以疊加，增強驅動力。本發(fā)明通過將所述第一線圈和所述第二線圈布置在所述內框架的頂面和底面上，在施加同樣的電流時，與將所述第一線圈和所述第二線圈布置在同一個表面上相比，線圈發(fā)熱量更少，且在器件尺寸一定時，所述第一線圈和所述第二線圈的長度可以增加，從而進一步提高驅動力的大小以獲得更大的偏轉角度，且本發(fā)明無需增大所述第一線圈和所述第二線圈中通入的電流，可以避免由于線圈發(fā)熱導致功耗增加或可靠性問題。