根據天眼查APP數據顯示芯源微(688037)新獲得一項發明專利授權，專利名為“晶圓搬運裝置及晶圓搬運方法”，專利申請號為CN202110997889.5，授權日為2024年9月17日。
專利摘要：本發明提供了一種晶圓搬運裝置，包括外側壁均設置有取送導向結構的第一支撐機構和第二支撐機構；還包括第一取送機構和第二取送機構，分別活動設置于所述第一支撐機構的取送導向結構和所述第二支撐機構的取送導向結構；所述第一取送機構和所述第二取送機構均包括朝向相反的末端執行部；還包括旋轉機構和旋轉驅動部，所述第一支撐機構和所述第二支撐機構固定設置于所述旋轉機構，所述旋轉驅動部驅動旋轉機構作旋轉運動，進而帶動所述第一支撐機構和所述第二支撐機構的至少一個同步旋轉，能夠擴展晶圓的取送范圍，有利于提高產能。本發明還提供了一種晶圓搬運方法。
今年以來芯源微新獲得專利授權28個，較去年同期增加了3.7%。結合公司2024年中報財務數據，今年上半年公司在研發方面投入了1.17億元，同比增52%。
