國家知識產權局信息顯示，武漢新芯集成電路股份有限公司取得一項名為“清洗裝置及半導體制造設備”的專利，授權公告號 CN 221832892 U，申請日期為 2024 年 7 月。

專利摘要顯示，本實用新型提供了一種清洗裝置及半導體制造設備，所述清洗裝置用于清洗晶圓，所述清洗裝置包括：可旋轉的支撐結構，設置于所述晶圓下方，所述支撐結構的外周具有第一環形槽，所述晶圓的邊緣放置于所述第一環形槽中；可旋轉的轉動結構，設置于所述晶圓外周，所述轉動結構的外周具有第二環形槽，所述晶圓的邊緣放置于所述第二環形槽中，所述轉動結構和/或所述支撐結構能夠帶動所述晶圓旋轉；所述第一環形槽和/或所述第二環形槽的內壁設置有第一噴口，通過所述第一噴口能夠向所述晶圓邊緣噴出第一清洗液。本實用新型的技術方案使得能夠去除晶圓邊緣的殘留物，避免影響后續工藝。