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成都士蘭半導體申請半導體外延結構及其制備方法專利,降低外延自摻雜效應

日期:2024-12-27 閱讀:258
核心提示:國家知識產權局信息顯示,成都士蘭半導體制造有限公司申請一項名為半導體外延結構及其制備方法的專利,公開號 CN 119181725 A,

 國家知識產權局信息顯示,成都士蘭半導體制造有限公司申請一項名為“半導體外延結構及其制備方法”的專利,公開號 CN 119181725 A,申請日期為2024年9月。

專利摘要顯示,本發明提供了一種半導體外延結構及其制備方法,其中半導體外延結構從下至上依次包括:襯底、外延阻擋層、第一外延層、阻擋柵以及第二外延層,阻擋柵包括至少兩個無摻雜結構層。本發明通過阻擋柵的設計可以降低外延自摻雜效應,解決外延層過渡區平緩的問題。

 

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