12月30日，寧波首個高能級微納平臺——甬江實驗室信息材料與微納器件制備平臺（簡稱“微納平臺”）正式投用。據悉，這是甬江實驗室迄今為止投入最大的平臺，致力打造成支撐前沿科技創新、引領微納制造共性技術、鏈接并賦能產研生態的開放共享科創服務平臺。

“先進封裝已成為全球半導體產業超越摩爾定律、進一步提升芯片性能的主要手段，究其本質是異質異構集成技術，而高能級微納平臺正是實現這一技術不可或缺的基礎支撐。”該平臺負責人鐘飛介紹。

據悉，微納平臺位于甬江實驗室創園，擁有一流的基礎設施、先進的制程工藝，現已建成6英寸研發線和8英寸驗證線各一條，配備了165臺（套）高端精密設備。此次投用的是微納平臺6英寸研發線，8英寸驗證線有望在2025年投用。

開放共享，是微納平臺的特點。“幫助企業將想法轉化為樣品，提供高工業參考價值的系統解決方案，進而加快從樣品到商品的進程。”鐘飛告訴記者，半導體設備成本高昂，企業若進行重資產投入，一旦研發失敗將遭受重大損失，“微納平臺通過設備開放共享，降低企業的投入成本。”

同時，微納平臺建立了完善的標準化工藝庫，可滿足不同芯片的研發需求，并開放給企業使用。平臺技術人員也可指導企業，開發其所需的新工藝。“企業可以在平臺上完善工藝、提升良率，確保達到市場認可的成熟度之后，再投入產業化。”鐘飛說。

將“鏈路”拉長，微納平臺有更大的“追求”——跨越學術界和產業界之間的“死亡之谷”。微納平臺將選擇有產業化前景的共性核心技術，與高校、企業聯合開發，共同完成從理論到技術研究、從技術研究到樣品、最終實現量產的全鏈過程。

此外，微納平臺還支撐科研團隊獲批兩項2024國家重點研發計劃，其中包括甬江實驗室牽頭的“大尺寸超高純超厚立方相碳化硅材料制備關鍵技術及應用”。同時，已開發高深寬比的介質刻蝕等國際領先工藝。

“力爭到2031年，建成有影響力的泛半導體領域全鏈條研發與驗證平臺。”鐘飛說。

（來源：浙江日報）