根據中國臺灣氣象署所發布的報告顯示，中國臺灣南部地區于1月21日上午零點17分27秒發生里氏地震規模6.4的地震，震中位于北緯23.23度，東經120.57度，即在嘉義縣政府東南方37.9公里，位于嘉義縣大埔鄉，震源深度9.7公里。

從各地地震強度來看，嘉義縣地區最大震度6弱，其中大埔6弱、番路5弱、民雄4級、太保市4級、義竹4級、阿里山4級。其他各縣市震度，臺南市、高雄市地區最大震度5弱，嘉義市、云林縣、臺東縣、南投縣、屏東縣、花蓮縣、彰化縣、臺中市、澎湖縣最大震度4級，苗栗縣、宜蘭縣、新竹縣最大震度3級，新竹市、桃園市、新北市、臺北市最大震度2級，基隆市、連江縣最大震度1級。

根據南科管理局的最新報告，本次地震儀測值，臺南84.90Gal（5弱）、高雄31.20Gal（4級）。而相關廠商地震儀測值顯示，臺南群創B廠143.00Gal（5強）、臺積18廠105.00Gal（5弱）、聯電131.00Gal（5弱）、彩晶126.80Gal（5弱）。高雄群創F廠35.00Gal（4級）。

對廠商影響程度方面，南科園區大廠機臺預防性停機，人員已進行疏散，目前無人員傷亡；水電氣、污水廠、公有建筑及營建工程皆無人員傷亡，標準廠房及宿舍電梯自動跳停、預防性停用。

晶圓代工龍頭臺積電方面表示，因部分中科、南科廠區達疏散標準，以人員安全為第一優先，依緊急應變程序進行人員室內及室外疏散與清點中。

隨后在21日上午，南科管理局發布最新報告稱，針對該起地震，園區各大廠人員皆已返回崗位，機臺當機情形尚未統計完畢，無人員傷亡情事。水電氣、污水廠、公有建筑及營建工程皆無人員傷亡，標準廠房及宿舍電梯尚在進行查修，受災狀況及復原時間尚待評價，所幸人員均無傷亡，也未衍生相關火災或化學品泄露災害。另外，園區水電供應正常，公共設施無災情。