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深紫外(DUV)和極深紫外(EUV)探測器在光刻、天文監(jiān)測以及國防預(yù)警等諸多領(lǐng)域具有非常廣闊的應(yīng)用前景。在適用于DUV和EUV探測的所有

深紫外線檢測技術(shù)具有重要的應(yīng)用，例如紫外線成像，紫外線/紅外線雙重引導(dǎo)，預(yù)警系統(tǒng)，紫外線通訊，紫外線干擾等。中國科學(xué)技術(shù)