近日，睿勵科學儀器（上海）有限公司（以下簡稱“上海睿勵”）多項工商信息發生變更，新增投資人中微半導體設備（上海）股份有限公司 （以下簡稱“中微公司”），注冊資本從此前的3.1億元增加至1.28億元，增幅逾38%。

目前，中微公司為上海睿勵的第一大股東，認繳出資額8750萬元，持股比例20.4467%。值得一提的是，國家大基金亦為上海睿勵的股東之一，持股比例為12.35%。

 

據悉，中微公司增資上海睿勵在2020年便曾對外公告，2020年12月底，中微半導體宣布，擬對上海睿勵進行增資。公告指出，中微半導體擬以現金方式向上海睿勵增資1億元，認購上海睿勵新增注冊資本8333.33萬元，認購單價為1.2元/股（注冊資本）。本次增資完成后，上海睿勵注冊資本增加至4.28億元，公司持有上海睿勵股權比例為20.4467%。

 

資料顯示，上海睿勵成立于2005年6月，致力于集成電路生產前道工藝檢測領域設備研發和生產，主營產品為光學膜厚測量設備和光學缺陷檢測設備以及硅片厚度及翹曲測量設備等，是國內少數幾家進入國際領先的12英寸生產線的高端裝備企業之一，并且是國內唯一進入某韓國領先芯片生產企業的國產集成電路設備企業。

 

上海睿勵自主研發的12英寸光學測量設備TFX3000系列產品，已應用在65/55/40/28納米芯片生產線并在進行了14納米工藝驗證，在3D存儲芯片產線支持64層3D NAND芯片的生產，并正在驗證96層3D NAND芯片的測量性能。其應用于LED藍寶石襯底圖形檢測的自動光學檢測設備，也已成功銷售到眾多國內LED PSS襯底和LED芯片生產線。

 

據中微公司公告介紹，上海睿勵正在開發下一代可支持更高階芯片制程工藝的膜厚和OCD測量設備以及應用于集成電路芯片生產的缺陷檢測設備，進一步擴大可服務的市場規模。

 

中微公司表示，本次投資上海睿勵將使公司能夠布局集成電路工藝檢測設備領域，是公司聚焦并落實高端芯片設備戰略的又一步驟，系公司為完善業務布局而進行的投資。