阿斯麥已在官網上公布了柏林工廠發生火災的消息，從官網的信息來看，發生火災的工廠，是阿斯麥的一座零部件工廠，生產晶圓臺、網紋卡盤和鏡像塊等。發生火災的這一工廠，原屬于阿斯麥的供應商Berliner Glas，阿斯麥在2020年收購了這一公司，收購金額尚未披露，有報道稱是花費了2.3億歐元，也就是約2.36億美元。?

 

由于阿斯麥是全球重要的光刻機制造商，也是目前唯一能制造極紫外光刻機的廠商，在全球多領域芯片短缺的背景下，阿斯麥光刻機的生產及交付至關重要，柏林工廠的火災是否會影響到生產就備受關注。另外，由于光刻機由眾多部件組裝而成，任何部件生產的推遲，都可能影響到光刻機最終的生產和交付，進而影響到芯片廠商擴大產能。

 

ASML發布的消息指出，過去幾日進行的初步評估顯示，柏林制造基地部分生產線有遭大火毀壞，冒出的濃煙也部分影響了隔壁棟。這些受影響的建筑已順利恢復一些生產作業，柏林廠區的其他建筑則未受影響，一直都能正常運作。

 

ASML仍在持續評估受損情況，目前的檢視結果如下：

 

1.計量（Metrology）和檢測（Inspection）產出計劃未受影響，因為使用的零組件并非來自柏林廠。

 

2.深紫外光曝光設備（DUV）零件生產已獲重啟。雖然DUV零件受到一些干擾，但ASML應能設法解決問題，不會影響DUV的產出及營收計劃。

 

3.關于極紫外光（EUV）微影設備，火災影響了晶圓夾（wafer clamp）一部分生產區域，這是EUV系統的一項模塊。ASML還在設法讓這個生產區恢復正常，也在評估要如何調整產出計劃、現場服務，讓EUV客戶可能受到的影響降至最低。

 

ASML預定2022年1月19日公布第四季和2021年財報，以及2022年的初步展望，屆時也會針對這起意外公布更多細節。

 

ASML柏林廠主要制造微影系統需要的零組件，當中包括晶圓固定工作臺、晶圓夾具、光罩吸盤、反射鏡等。ASML在2020年并購德商Berliner Glas。

 

根據外媒報導，分析人士直指，若ASML的EUV設備出貨量因為這場火災縮減10%，則可能讓全球微影設備供應量暫時減少8.4%，因為ASML擁有84%的市占率。