宏微科技3月16日在投資者互動平臺回答投資者提問時表示，IGBT等功率器件芯片對制程的要求，沒有邏輯芯片等集成電路芯片那么高，主流制程普遍在350nm以上，最新的制程需求是150nm, 所以對應的光刻機設備不會受到像14nm、7nm制程那樣的約束。隨著國內(nèi)制程技術的逐步成熟，IGBT芯片制造設備（含光刻設備）的國產(chǎn)替代也正在加速。