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徐州博康:半導體光刻膠獲國內主流存儲芯片廠客戶訂單

日期:2022-04-13 來源:全球半導體觀察閱讀:432
核心提示:據華懋科技官方消息,華懋科技旗下徐州博康近期收到某國內主流存儲芯片廠商的半導體光刻膠采購訂單,此前該產品型號全部依賴于海外進口。
據華懋科技官方消息,華懋科技旗下徐州博康近期收到某國內主流存儲芯片廠商的半導體光刻膠采購訂單,此前該產品型號全部依賴于海外進口。
 
據悉,該產品系徐州博康HTI560系列光刻膠,是基于對羥基苯乙烯聚合物樹脂的化學放大型光刻膠。
 
該產品所用原材料包括單體、樹脂及光酸100%由博康自主生產,其在客戶端的整個測試認證周期近2年,其放量采購標志著徐州博康半導體光刻膠在國內主流12寸晶圓廠獲得了正式認可。
 
此外,考慮到該款產品的適用性很強,博康已經開始積極拓展其他客戶,根據不同客戶產品工藝特點的不同對該款光刻膠進行微調,最終實現該類產品的商業價值最大化。
 
徐州博康頻頻獲得投資 光刻膠布局逐步深入
 
公開資料顯示,徐州博康是一家集研發、生產、經營中高端光刻膠、光刻膠單體和光刻膠樹脂為主的國家高新技術企業。公司專注于光刻膠原材料到成品的自主研發及生產,實現了從單體、光刻膠專用樹脂、光酸劑及終產品光刻膠的國產化自主可控的供應鏈。
 
2021年年初,華懋科技表示確立在新材料領域積極布局的發展方向,將通過公司參與的產業基金投資布局,逐步進入半導體光刻膠領域。2021年華懋科技便兩度通過東陽凱陽對徐州博康進行投資,加速光刻膠領域布局。
 
2021年1月3日,華懋科技旗下產業基金——東陽凱陽科技創新發展合伙企業對外投資公告稱,東陽凱陽于2020年12月30日,與傅志偉、上海博康、徐州博康簽署了《投資協議》及其附屬文件。華懋科技通過東陽凱陽對徐州博康進行投資,將切入半導體關鍵材料光刻膠領域。
 
2021年9月11日,華懋科技發布公告,公司擬對全資子公司華懋東陽增資6億元人民幣。隨后,華懋東陽擬以自有資金對參與設立的合伙企業東陽凱陽進行增資,增資金額為4.5億元人民幣。不久,東陽凱陽擬與徐州博康、東陽市金投控股集團有限公司、袁晉清先生簽署《合資協議》共同發起設立合資公司陽芯華電子材料有限公司,擬從事光刻材料的研發、生產與銷售,其中東陽凱陽認繳注冊資本2.8億元人民幣,持股比例40%。
 
值得關注的是,8月10日,徐州博康工商信息發生變更,新增深圳哈勃科技投資合伙企業(有限合伙)為股東。
 
在產能上擴建上,2021年,徐州博康新一代的光刻膠單體通過了英特爾、三星等世界大廠的認證并成功上線,并且年產1100噸光刻材料及10000噸電子級溶劑的新工廠在邳州投入使用。
 
2021年6月下旬,華懋科技表示,徐州博康的新工廠已從6月25日進入試生產,在三個月試生產期結束后有望正式量產。隨著博康新產業基地的投入運營,博康的光刻膠成品及上游單體材料將快速增長,完全達產后產能是原有的5倍以上,光刻膠單體和光刻膠系列產品的營收將分別至少為10億元和4億元,較2020年提升巨大。
 
目前,博康的i-line/KrF/ArF/ArF immersion等多個系列產品正在國內主流的邏輯芯片與存儲芯片廠進行評估驗證。尤其是高端的KrF高分辨率產品及ArF immersion產品,性能指標方面數據已經獲得了客戶端的良好評價結果。此外,博康還有多個ArF immersion//KrF/i-line產品積極開發中,包含immersion NTD光刻膠,KrF高深寬比厚膠等。
 
此外,2021年末,徐州博康還承擔了國家“02專項”中的子課題“ArF光刻膠單體產品的開發與產業化”,該項目總投資為1500萬元,擬在上海臨港科技城進行選址,建設上海研發中心,預計在2022年3月完成裝修并投產。項目建成后從事金剛烷系列材料的合成研發,預計金剛烷系列材料合成研發的次數約為600次/年,金剛烷系列材料主成分檢測約為800次/年。 
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