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思特威成功開發(fā)國產(chǎn)自研高端BSI工藝平臺

日期:2022-04-29 來源:半導體產(chǎn)業(yè)網(wǎng)閱讀:299
核心提示:近日,思特威與合肥晶合集成合作推出了國產(chǎn)自研高端BSI工藝平臺。
近日,思特威與合肥晶合集成合作推出了國產(chǎn)自研高端BSI工藝平臺。
 
在CMOS圖像傳感器小像素尺寸與高分辨率的市場趨勢下,BSI(Back SideIllumination)即背照式入射受到市場的重視和需求。相較于前照式入射方案,BSI將光線入射方向改至光電二極管的背面,可大幅提升 CMOS 圖像傳感器的量子效率,降低電路光學串擾,同時解決了像素尺寸微小化和擴大光學視角響應(yīng)方面的重要難題,進而實現(xiàn)極佳的暗光成像品質(zhì)。
 
據(jù)悉,早在2020年,思特威就已與晶合集成攜手成功推出了DSI工藝平臺并實現(xiàn)量產(chǎn)。為了繼續(xù)提升產(chǎn)品性能,2021年思特威開始進行本土BSI背照式先進工藝平臺的研發(fā),在多項關(guān)鍵技術(shù)工藝上取得突破性成果,創(chuàng)新推出了國產(chǎn)高端BSI工藝平臺。此次思特威攜手晶合集成推出的國產(chǎn)自研高端BSI平臺通過晶圓鍵合技術(shù)、晶圓減薄技術(shù)以及硅表面鈍化技術(shù)等三大關(guān)鍵工藝,可為當下智視應(yīng)用提供一流的暗光成像性能。
 
據(jù)思特威官方消息,該BSI高端工藝平臺搭載晶圓鍵合技術(shù),采用直接鍵合方式降低鍵合過程中晶圓畸變的產(chǎn)生,大幅提升其鍵合力,實現(xiàn)高像素性能;同時,為實現(xiàn)更好的BSI光電二極管結(jié)構(gòu),藉由思特威開發(fā)優(yōu)化的晶圓減薄技術(shù),可在晶圓研磨減薄中最大程度減少硅的損耗,保障超高精度并將硅襯底厚度成功減薄,而且對于850nm與940nm的近紅外增強也做了工藝優(yōu)化,保障了晶圓強度并實現(xiàn)出色的感光性能;此外,該平臺還采用了業(yè)內(nèi)前沿工藝材料打造硅表面鈍化技術(shù),避免了晶片拋光后對光電二極管的損壞,進一步減少白點與暗電流的產(chǎn)生,提升CIS的暗光成像表現(xiàn)。 
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