南大光電(300346.SZ)5月13日在投資者互動平臺表示，目前主要的檢測設備如光刻機已經安裝并投入使用。符合公司要求的缺陷檢測設備目前市場上比較稀缺，公司正在努力推進采購工作。 ArF光刻膠驗證工作在順利推進中。