據路透社報道,半導體設備巨頭ASML的新一代High-NA EUV設備訂價約4億美元(折合27億人民幣)。
相比之下,上一代EUV光刻機售價大約1.2億美元,意味著新一代光刻機售價提升了兩倍多。不過新一代光刻機設備精密度更高、所使用的零部件更多,機型比上一代大出30%,如同雙層巴士大小。
據悉,ASML原型機將在2023年上半年完成。目前公司對外表示,2021年第四季度已收到5個預定High-NA EUV的訂單。
至于新一代光刻機的首批用戶是誰也不難猜想,目前臺積電、三星是全球僅有的能在先進工藝制程上一較高下的對手。
根據規劃,臺積電、三星都計劃在今年下半年量產3nm工藝,目前它們所采用的EUV光刻機為第一代,據稱第一代EUV光刻機生產3nm已幾乎達到極限,它們研發更先進的2nm乃至更先進的工藝就需要采用ASML最新的High-NA EUV光刻機。
