專利摘要顯示，本申請(qǐng)實(shí)施例屬于半導(dǎo)體制造技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及一種半導(dǎo)體光刻補(bǔ)償方法，包括：通過(guò)機(jī)臺(tái)組合對(duì)晶圓進(jìn)行光刻，機(jī)臺(tái)組合至少包括第一機(jī)臺(tái)和第二機(jī)臺(tái)；通過(guò)第一機(jī)臺(tái)進(jìn)行光刻得到第一曝光結(jié)構(gòu)；獲取第一曝光結(jié)構(gòu)的套刻誤差的第一測(cè)量值；根據(jù)第一測(cè)量值對(duì)第二機(jī)臺(tái)的初始下貨值進(jìn)行補(bǔ)償。在進(jìn)行半導(dǎo)體結(jié)構(gòu)的制作過(guò)程中，可以通過(guò)測(cè)量第一機(jī)臺(tái)加工形成的第一曝光結(jié)構(gòu)的套刻誤差，將第一測(cè)量值對(duì)第二機(jī)臺(tái)的初始下貨值進(jìn)行補(bǔ)償，以便得到第二機(jī)臺(tái)的最優(yōu)下貨值，后續(xù)第二機(jī)臺(tái)進(jìn)行光刻時(shí)，第二機(jī)臺(tái)根據(jù)其最優(yōu)下貨值進(jìn)行光刻加工，有利于保證后續(xù)第二機(jī)臺(tái)加工形成的曝光結(jié)構(gòu)的套刻誤差準(zhǔn)確性，從而減少重工次數(shù)。