半導體產業網訊：10月25日，中微半導體設備（上海）股份有限公司（以下簡稱“中微公司”，上交所股票代碼：688012）宣布其MOCVD設備系列喜迎又一里程碑：全球第500臺MOCVD設備順利付運國內領先的LED外延片和芯片研發生產制造商。這一里程碑既是中微公司MOCVD產品的卓越性能與服務的專業優勢的充分證明，也是對公司持續創新的技術能力與穩步發展的綜合實力的認可與肯定。

本批次運付的第500臺MOCVD設備為中微公司2021年6月推出的Prismo UniMax®，主要用于氮化鎵基Mini LED外延片量產。隨著近些年來光電產業的飛速發展，Mini LED已廣泛應用于電視、筆記本電腦、平板電腦、桌面顯示器、車載顯示屏、戶外顯示屏等終端產品。

自面世以來， Prismo UniMax® MOCVD設備憑借優異的波長均勻性、高能效和高產能等優勢迅速獲得了市場認可，團隊專業及時的現場支持和細致規范的技術服務也備受客戶青睞。作為專為高性能Mini LED量產而設計的MOCVD設備，Prismo UniMax®具備高產能和高靈活性的特點，在同一系統中可配備多達4個反應腔，每個反應腔均可實現獨立控制。Prismo UniMax®配置了785mm大直徑石墨托盤，通過石墨托盤的不同設計配置，最多可實現同時加工164片4英寸或72片6英寸外延晶片，有效提高產能并降低生產成本。此外，Prismo UniMax®創新的多區輔助加熱調節系統，能精確控制托盤局部區域溫度，有助于更大程度提升LED波長均勻性。

目前，中微公司開發的一系列MOCVD設備在行業內主要的LED生產線上已全面投入量產。Prismo UniMax®是MOCVD設備系列新一代產品，該產品系列還包括Prismo D-BLUE®、Prismo A7®、Prismo HiT3®和Prismo PD5®。2013年，中微公司率先發布國內自主研發制造的量產型MOCVD設備Prismo D-BLUE®。此后，中微公司又于2017年、2020年、2021年、2022年相繼推出了Prismo A7®、Prismo HiT3®、Prismo UniMax®和Prismo PD5®產品。

“此次里程碑是中微公司取得的又一次重要突破，為今后MOCVD產品市場進一步開拓奠定了堅實的基礎。”中微公司副總裁兼MOCVD產品事業部總經理郭世平博士表示：“我們感到十分自豪，中微公司開發的一系列MOCVD設備，獲得了客戶與市場的廣泛認可，部分產品在細分領域市占率達到全球排名第一。未來，隨著新應用的進一步拓展，我們將繼續推進與客戶的密切合作交流，通過技術領域的持續創新，不斷為客戶提供極具競爭力的產品和解決方案，實現穩步發展與深度共贏，共同譜寫產業更加美好的明天。”

*Prismo D-BLUE®, Primo A7®, Prismo HiT3®，Prismo PD5® 和 Prismo UniMax® 是中微公司的注冊商標。

關于中微半導體設備（上海）股份有限公司

中微半導體設備（上海）股份有限公司（證券簡稱：中微公司，證券代碼：688012）致力于為全球集成電路和LED芯片制造商提供領先的加工設備和工藝技術解決方案。中微公司開發的等離子體刻蝕設備和化學薄膜設備是制造各種微觀器件的關鍵設備，可加工微米級和納米級的各種器件。這些微觀器件是現代數碼產業的基礎，它們正在改變人類的生產方式和生活方式。中微公司的等離子體刻蝕設備已被廣泛應用于國際一線客戶先進工藝的眾多刻蝕應用，中微公司開發的用于LED和功率器件外延片生產的MOCVD設備已在客戶生產線上投入量產，目前已在全球氮化鎵基LED MOCVD設備市場占據領先地位。