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國(guó)際領(lǐng)先!新一代SIC晶體生長(zhǎng)用材料

日期:2023-04-28 閱讀:334
核心提示:恒普科技推出全新一代SIC晶體生長(zhǎng)熱場(chǎng)材料,多孔碳化鉭。全球首發(fā)!突破性的推出大孔隙率的多孔碳化鉭,孔隙率最大可以做到75%,國(guó)際領(lǐng)先。

 隨著導(dǎo)電型SIC襯底的逐漸量產(chǎn),對(duì)工藝的穩(wěn)定性、可重復(fù)性都提出更高的要求。特別是缺陷的控制,爐內(nèi)熱場(chǎng)微小的調(diào)整或漂移,都會(huì)帶來(lái)晶體的變化或缺陷的增加。后期,更要面臨“長(zhǎng)快、長(zhǎng)厚、長(zhǎng)大”的挑戰(zhàn),除了理論和工程的提高外,還需要更先進(jìn)的熱場(chǎng)材料作為支撐。使用先進(jìn)材料,長(zhǎng)先進(jìn)晶體。

熱場(chǎng)中坩堝的材料,石墨、多孔石墨、碳化鉭粉等使用不當(dāng),會(huì)帶來(lái)碳包裹物增多等缺陷。另外在有些應(yīng)用場(chǎng)合,多孔石墨的透氣率不夠,需要額外開(kāi)孔來(lái)增加透氣率。透氣率大的多孔石墨,面臨加工、掉粉、蝕刻等挑戰(zhàn)。

恒普科技推出全新一代SIC晶體生長(zhǎng)熱場(chǎng)材料,多孔碳化鉭。全球首發(fā)!

碳化鉭的強(qiáng)度和硬度都很高,做成多孔狀,更是挑戰(zhàn)。做成孔隙率大、純度高的多孔碳化鉭更是極具挑戰(zhàn)。恒普科技突破性的推出大孔隙率的多孔碳化鉭,孔隙率最大可以做到75%,國(guó)際領(lǐng)先。

氣相組元過(guò)濾,調(diào)整局部溫度梯度,引導(dǎo)物質(zhì)流方向,控制泄漏等都可以使用。

可與恒普科技另外一款固體碳化鉭(致密)或碳化鉭涂層,形成局部不同流導(dǎo)的構(gòu)件。

部分構(gòu)件可以重復(fù)使用。

恒普科技推出全新一代SIC晶體生長(zhǎng)熱場(chǎng)材料,多孔碳化鉭

·孔隙率  ≤75%  國(guó)際領(lǐng)先

·形狀:片狀、筒狀  國(guó)際領(lǐng)先

·孔隙度均勻

恒普科技零實(shí)驗(yàn)室

恒普科技 | 零實(shí)驗(yàn)室,致力于材料的基礎(chǔ)研究和創(chuàng)新方向探索。

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