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華海清科12英寸超精密晶圓減薄機Versatile-GP300完成首臺驗證工作

日期:2024-09-20 閱讀:254
核心提示:9月19日,華海清科發(fā)布公告稱,自公司2023年推出新一代12英寸超精密晶圓減薄機Versatile-GP300量產(chǎn)機臺以來,公司積極推進客戶端

 9月19日,華海清科發(fā)布公告稱,自公司2023年推出新一代12英寸超精密晶圓減薄機Versatile-GP300量產(chǎn)機臺以來,公司積極推進客戶端導(dǎo)入工作,該機型已發(fā)往存儲、先進封裝、CIS等不同工藝的客戶端進行驗證。近日,公司 12 英寸超精密晶圓減薄機 Versatile-GP300 完成首臺驗證工作。

Versatile-GP300機臺通過創(chuàng)新布局,集成超精密磨削、拋光及清洗單元,配置先進的厚度偏差與表面缺陷控制技術(shù),提供多種系統(tǒng)功能擴展選項,具有高精度、高剛性、工藝開發(fā)靈活等優(yōu)點,可以滿足集成電路、先進封裝等制造工藝 的晶圓減薄需求。

華海清科指出,該驗收機臺應(yīng)用于客戶先進工藝,突破了傳統(tǒng)減薄機的精度限制,實現(xiàn)了減薄工藝全過程的穩(wěn)定可控,核心技術(shù)指標(biāo)達(dá)到了國內(nèi)領(lǐng)先和國際先進水平,在客 戶端表現(xiàn)優(yōu)異,獲得客戶高度認(rèn)可。

其進一步表示,Versatile-GP300 首臺驗收通過標(biāo)志著其性能獲得客戶認(rèn)可,滿足客戶批量化生產(chǎn)需求,有助于推進該機型在不同客戶不同工藝的生產(chǎn)線進一步驗證,完善技術(shù)指標(biāo),為后續(xù)取得批量訂單打下堅實基礎(chǔ);同時隨著HBM等先進封裝技術(shù)的應(yīng)用,將大幅提升市場對減薄裝備的需求,將有助于鞏固和提升公司的核心競爭力,對公司未來的發(fā)展將產(chǎn)生積極的影響。

 

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