國家知識產(chǎn)權局信息顯示，廣東天域半導體股份有限公司取得一項名為“一種水平氣流SiC外延設備石英鐘罩內(nèi)壁清潔工具”的專利，授權公告號CN 222241784 U，申請日期為2023年12月。

專利摘要顯示，本實用新型公開了一種水平氣流SiC外延設備石英鐘罩內(nèi)壁清潔工具，包括手持桿和清洗頭，手持桿的一端與清洗頭連接，清洗頭的外側面設有中間環(huán)形凹槽和兩個側環(huán)形凹槽，中間環(huán)形凹槽位于兩個側環(huán)形凹槽之間，中間環(huán)形凹槽內(nèi)間隔設有多個真空吸氣孔，兩個側環(huán)形凹槽內(nèi)均間隔設有多個氬氣吹氣孔，手持桿的軸向為中空結構，中空結構內(nèi)設有真空管道和氬氣管道。本實用新型能夠對圓筒形石英鐘罩的內(nèi)壁進行擦拭、吸塵、氣吹三個清潔功能合到一起，清潔覆蓋面更全：與圓筒形石英鐘罩的內(nèi)壁具有更好的貼合性，能保證石英鐘罩的清潔效果符合爐膛反應需求。

天眼查資料顯示，廣東天域半導體股份有限公司，成立于2009年，位于東莞市，是一家以從事批發(fā)業(yè)為主的企業(yè)。企業(yè)注冊資本36319.8011萬人民幣，實繳資本36319.8011萬人民幣。通過天眼查大數(shù)據(jù)分析，廣東天域半導體股份有限公司共對外投資了2家企業(yè)，參與招投標項目112次，知識產(chǎn)權方面有商標信息8條，專利信息108條，此外企業(yè)還擁有行政許可65個。