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北方華創立式爐出貨突破1000臺

日期:2025-01-15 閱讀:305
核心提示:2025年1月6日,北方華創(002371)第1000臺立式爐正式出廠。這一成就不僅標志著公司立式爐產品取得飛躍性進展,更體現了中國集成

2025年1月6日,北方華創002371)第1000臺立式爐正式出廠。這一成就不僅標志著公司立式爐產品取得飛躍性進展,更體現了中國集成電路設備制造實力的顯著提升。

立式爐作為集成電路制造的關鍵設備,主要用于前道氧化、擴散和退火等熱處理工藝,直接影響了半導體器件的性能。同時,立式爐可批量處理晶圓,提高生產效率,在當前集成電路生產中占據越來越重要的位置。據SEMI數據顯示,2024年立式爐全球市場規模已達32億美元,預計未來幾年將繼續保持穩健增長。

2010年,北方華創首臺立式爐交付客戶。十余年內,北方華創立式爐通過客戶端嚴格驗證,實現大規模量產,廣泛覆蓋邏輯、存儲、功率、先進封裝及大硅片生產等關鍵領域,獲得客戶高度贊譽。2020年,北方華創第100臺立式爐交付。2023年6月,第500臺立式爐交付,僅1年零6個月后,第1000臺立式爐正式交付。千臺立式爐的成功出廠,體現了“華創速度”,是北方華創技術革新與品質堅守的有力見證,更是中國半導體設備制造業邁向世界前列的堅實一步。

北方華創立式爐的成功,得益于公司在技術層面的不斷創新和突破。立式爐設備以高精度的溫度控制能力,良好的成膜均勻性,以及先進的金屬及顆粒污染控制技術,大幅提升了芯片良品率。近年來,北方華創還開發了一系列立式爐新技術,進一步鞏固自身在行業中的技術領先地位。2024年,北方華創發布等離子體增強氮化硅原子層沉積立式爐(型號:DEMAX SN302P),深受邏輯與存儲領域頭部客戶的青睞;同年發布了間隙填充氧化硅原子層沉積立式爐(型號:DEMAX SN302T),成為3D NAND閃存生產的關鍵設備。此外,300mm立式氧化爐(型號:THEORIS X302P)自2017年進入高端 3D NAND生產線后,憑借先進的自動化、穩定性和技術指標,屢獲批量訂單,成為客戶首選。

展望未來,北方華創將秉持銳意進取的精神,在集成電路設備的新征程中領航破浪,以卓越品質致敬未來。 

(來源: 北方華創官微

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