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廣東比亞迪節(jié)能科技申請MEMS器件及其封裝方法專利,降低主體晶圓與襯底晶圓封裝難度

日期:2025-04-16 閱讀:224
核心提示:國家知識產(chǎn)權(quán)局信息顯示,廣東比亞迪節(jié)能科技有限公司申請一項名為MEMS器件及其封裝方法的專利,公開號CN 119822314 A,申請日期

國家知識產(chǎn)權(quán)局信息顯示,廣東比亞迪節(jié)能科技有限公司申請一項名為“MEMS器件及其封裝方法”的專利,公開號CN 119822314 A,申請日期為2024年9月。

專利摘要顯示,本公開涉及一種MEMS器件及其封裝方法,MEMS器件包括主體晶圓(1)和襯底晶圓(2),所述主體晶圓(1)包括MEMS敏感結(jié)構(gòu)(11)和第一導電層(12),所述MEMS敏感結(jié)構(gòu)(11)包括多個分體部(111),所述分體部(111)具有底面(1111),多個所述底面(1111)齊平設(shè)置,以構(gòu)造為所述MEMS敏感結(jié)構(gòu)(11)的底平面(112),所述第一導電層(12)與所述底平面(112)抵接,且所述第一導電層(12)與所述襯底晶圓(2)電連接。通過上述技術(shù)方案,本公開提供的MEMS器件中主體晶圓與襯底晶圓的封裝難度較小,二者更容易集成在一起。

天眼查資料顯示,廣東比亞迪節(jié)能科技有限公司,成立于2013年,位于惠州市,是一家以從事研究和試驗發(fā)展為主的企業(yè)。企業(yè)注冊資本3000萬人民幣。通過天眼查大數(shù)據(jù)分析,廣東比亞迪節(jié)能科技有限公司參與招投標項目5次,專利信息48條,此外企業(yè)還擁有行政許可28個。

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