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九峰山實驗室推氧化鎵科研級功率單管及coupon to wafer流片平臺

日期:2025-04-18 閱讀:1346
核心提示:九峰山實驗室(JFS Lab)向各科研機構提供氧化鎵”Coupon to wafer”流片研發平臺,同時提供多種科研級功率器件封裝單管。

近日,九峰山實驗室(JFS Lab)向各科研機構提供氧化鎵Coupon to wafer流片研發平臺,同時提供多種科研級功率器件封裝單管。包括JFS創新的Planar SBD、Trench SBD(肖特基勢壘二極管)器件和平面MOSFET器件。它們都是基于全氧化鎵材料制造,標志著JFS Lab在氧化鎵半導體器件研發工藝平臺有了較好的技術積累。此次發布的SBD和MOSFET科研級封裝器件旨在滿足客戶對氧化鎵器件的測試、分析及應用探索需求,進一步推動氧化鎵行業的產業化發展。

00 JFS Ga2O3 “coupon to wafer”技術流片平臺

JFS Ga2O3 “coupon to wafer”技術,實現小尺寸WBG材料在6/8寸量產型Fab線上開發和小批量生產,讓小尺寸材料也能采用6/8寸高精度穩定性工藝設備批量制造。同時,未來可實現WBG器件和硅CMOS邏輯控制的異質集成,擴展多材料多功能集成技術,同步提升氧化鎵器件的散熱能力。

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1 Planar SBD

產品亮點與特性

JFS Lab此次推出的Planar SBD器件制造簡單,具有較大的正向電流密度和高反向電壓,專為研究氧化鎵器件電學性能及早期應用探索而設計。

•規格:電極尺寸為110*110 (μm2),2*2(mm2)等多種規格及定制化需求,可為客戶提供bare die和封裝形式的器件,適用于特定測試及應用場景。

02 Trench SBD

產品亮點與特性

JFS Lab特有IP兩級溝槽SBD結構,更好的肖特基區掩蔽,增強可靠性同時保持較好的電通路和正向導通能力核心專利包括CN113990801ACN119486231A,CN116207164A等。

•規格:電極尺寸為2.5*2.5 (mm2),可為客戶提供bare die和封裝形式的器件,適用于特定測試及應用場景。

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03 Planar MOSFET

產品亮點與特性

JFS Lab首個通過氮注入形成高阻區構造柵極電場掩蔽結構的垂直MOSFET,具備未來實際應用中高可靠性柵極電場保護(氧化鎵中臨界電場理論上可達8MV/cm,遠高于SiC的3MV/cm),獨有IP系列知識產權,核心專利CN116705616A

•規格:測試樣品(僅4個cell)電極極尺寸為250*250 (μm2),后期逐步推出大電流規格芯片(5-20A),可為客戶提供bare die和封裝形式的器件,適用于特定測試及應用場景。

04 器件封裝

封裝形式:TO金屬封裝

咨詢及購買聯系方式:wangkuan@jfslab.com.cn

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