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山東晶鎵申請一種紫外光催化輔助的氮化鎵晶圓拋光方法專利,提高了氮化鎵晶圓的拋光效率

日期:2025-03-21 閱讀:233
核心提示:國家知識產權局信息顯示,山東晶鎵半導體有限公司申請一項名為一種紫外光催化輔助的氮化鎵晶圓拋光方法的專利,公開號 CN 119635

國家知識產權局信息顯示,山東晶鎵半導體有限公司申請一項名為“一種紫外光催化輔助的氮化鎵晶圓拋光方法”的專利,公開號 CN 119635419 A,申請日期為2024年12月。

專利摘要顯示,本發明屬于半導體制造技術領域,尤其涉及一種紫外光催化輔助的氮化鎵晶圓拋光方法,包括如下步驟:S1,將研磨沖洗后的氮化鎵晶圓固定于拋光機的夾具上;S2,對拋光機的密封艙進行抽真空處理,直至真空度達到設定的真空度閾值,然后向密封艙內充入氧氣,直至密封艙內氧氣的壓力值達到設定的壓力閾值;S3,打開紫外燈和加熱器,紫外燈照射拋光液,加熱器將拋光液加熱到設定的溫度并維持該溫度恒定,然后啟動拋光機,對氮化鎵晶圓進行拋光;S4,對拋光完成后對氮化鎵晶圓進行清洗。本方法提高了氧化速率,進而提高了氮化鎵晶圓的拋光效率。

天眼查資料顯示,山東晶鎵半導體有限公司,成立于2023年,位于濟南市,是一家以從事計算機、通信和其他電子設備制造業為主的企業。企業注冊資本1307.1895萬人民幣。通過天眼查大數據分析,山東晶鎵半導體有限公司參與招投標項目2次,專利信息9條,此外企業還擁有行政許可5個。

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